Analyseur d'impédance du type HP 4192A à fréquence variable (5 Hz-13MHz).
L‘exploitation de ses mesure permet la détermination :
L'épaisseur de l'oxyde d'une structure MOS.
La concentration des dopants.
La tension des bandes plates.
La quantité de charges dans l'isolant.
La distribution de la densité des états d'interface.
Le potentiel de surface.
Les échantillons peuvent être considérés comme des structures MIS (Métal–Isolant–semi-conducteur) des jonctions PN ou un contact Métal-Semi-conducteur MS. De ce fait les caractéristiques capacité-tension C(V) nous permettront de déterminer quelques caractéristiques physiques des échantillons. On impose une tension continue de polarisation que l'on fait varier de –V à +V à laquelle est superposé un petit signal alternatif de fréquence variable. Le pont d'impédance mesure les caractéristiques du circuit (module et phase de l'impédance complexe). Ensuite il traite ces informations et peut les donner sous forme de capacité et résistance en série ou en parallèle, partie réelle et imaginaire de l'impédance.